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クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10

クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10

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広帯域計測がこの１台で！
1.0×10-7〜1.0×105Pa
測定原理の異なる真空計を組み合わせることで広範囲の圧力領域測定を可能にしました。
【メーカー】
東京電子


NW25 ※ACアダプタ(AS-1)付 CC-10-NW25 277,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF70 ※ACアダプタ(AS-1)付 CC-10-ICF70 284,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
アダプタセット1 AS-1 17,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
測定範囲　　　　：1.0×105〜1.0×10-7Pa
センサー　　　　：クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示　　　　　　：7セグメントLED
アナログ出力　　：DC0〜10[V]　　log出力または複合出力から選択
セットポイント　：3点(1点独立、2点はコモン共通)
　　　　　　　　　接点容量（DC50V、0.12[A]）
デジタル
インターフェイス：RS485
フランジ　　　　：NW25、又はICF70
電源電圧　　　　：DC22〜26[V]
動作時周囲温度　：0〜50[℃]
ベーキング温度　：Max 150℃　(回路は取り外すこと)
外径寸法　　　　：94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]　　(NW25)
　　　　　　　　　94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]　　(ICF70)
重量　　　　　　：840[g]　　(NW25)
　　　　　　　　　1060[g]　(ICF70)

【オプション】
・アダプタセット1　AS-1
　AC100[V]からCC-10本体への電源供給用


【用途】
真空蒸着装置
光学薄膜生成装置
加速装置とUHV研究
電子デバイス製造装置
高電子工学のデバイス製造装置


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