【仕様】
圧空作動式：複動シリンダー リミットスイッチ付、電磁弁付
リーク量
−ボディ
−バルブシート |
＜5・10-11Pa m3 s-1
＜1・10-10Pa m3 s-1
|
| 使用圧力範囲 |
1・10-8Pa to 0.16MPa(abs) |
| ゲートにかかる許容最大差圧 |
≦0.16MPa in either direction |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 |
≦30 hPa |
| 第１回サービスまでのサイクル数 |
50,000 |
ベークアウト温度
−バルブボディ
−圧空アクチュエータ
−リミットスイッチ
−電磁弁
|
≦250℃ open、200℃ closed
≦200℃
≦80℃
≦50℃ |
| 加熱及び冷却速度 |
≦50℃ ｈ-1 |
シール
ゲート |
metal
VITON(vulcanized) |
