超高真空装置に最適
10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、また軸シールにもオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズをしようしており、真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用しております。150℃以上のベーキングを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。
1.優れた許容加熱性
ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えます。
2.ガス放出の少ないシール材
・ポリイミド樹脂のガス放出は、フッ素ゴム(バイトン)と比較すると少ないので10-8Pa程度の超高真空を容易に達成することができます。
3.小さな締付けトルク
・ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクを要しません。
【メーカー】
キヤノンアネルバ