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ポリイミドバルブ

ポリイミドバルブ

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超高真空装置に最適

10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、また軸シールにもオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズをしようしており、真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用しております。150℃以上のベーキングを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。

1.優れた許容加熱性
 ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えます。

2.ガス放出の少ないシール材
・ポリイミド樹脂のガス放出は、フッ素ゴム(バイトン)と比較すると少ないので10-8Pa程度の超高真空を容易に達成することができます。

3.小さな締付けトルク
・ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクを要しません。

【メーカー】
キヤノンアネルバ


ICF34 951-7145 132,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF70 951-7120 209,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
※1.バルブ内部を真空またはArガス等の不活性ガスで置換えさせた状態での値です
※2.連続加熱を行う場合は260℃となります。
※3.ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外。
※4.締付けトルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し、締付けトルクと締付けシルカの関係が変化しますので参考値です。


商品番号
951-7145
951-7120
使用真空領域
大気圧〜10-8Pa程度
許容加熱温度※1.2
300℃(連続加熱:260℃)
シール材(ガスケット)
ポリイミド樹脂
推奨締付シールカ (参考締付トルク※4)
1225〜1921N(2〜3.4N・m)
3920〜4900N(4.9〜5.9N・m)
最大締付シールカ (参考締付トルク※4)
2626N(5.9N・m)
7840N(14.7N・m)
操作
手動
手動(ベーキングを数回行った 場合カニメスパナを使用)
リーク量※3
6.7×10-11Pa・m3/sec以下
使用材料
本体:SUS-304 ベローズ:SUS-304L ハンドル:AL 合金(黒色アルマイト)
接続フランジ
φ34ICFフランジ
φ70ICFフランジ
質    量
0.41Kg
1.6Kg
添付品
カニメスパナ、六角棒スパナ