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深紫外ＬＥＤ製造装置用ウェハ表面温度モニタ
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| 深紫外線LED（DUV-LED）は、従来の水銀ランプに替わる水や穀物の殺菌・浄化用途に採用され初めており、 その他の分野への応用が期待されています。 水銀ランプの製造・輸出・輸入は2017年8月16日に発効された条約によって原則禁止になりました。 測定対象：AIN膜onサファイア基板、AIN基板、Ga2O3、Diamond、GaN 測定温度：室温ー1300℃ 測定波長：190nm〜500nm 構成：レーザー駆動式Xe光源、ディテクタ、 190nm〜500nm分光計内蔵制御電源、 ソフトウェア、ノートPC 【関連】 kSA BandiT リアルタイムウェハ温度モニター |
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