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小型蒸着装置 ASE-100
| チャンバー |
サイズ/質量
表面処理
高真空脱ガス処理
Oリング窓付ハッチ
手動リークバルブ
到達真空度 |
φ210×H400 / SUS304製
バフ研磨+電解研磨
450度/10時間＠1×10-4Pa以下
(TMP排気系、脱ガス処理中の残留ガス分析データ添付)
AAD6
1/4リークバルブ
10-5Pa台 |
| 排気系 |
主ポンプ
主バルブ
補助ポンプ
アイソレイトバルブ |
300l/secターボ分子バルブ
ICF152手動L型バルブ
250l/minロータリーポンプ
補助ポンプ連動
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| 真空系 |
ワイドレンジゲージ
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表示機はメインポンプコントローラ兼用 |
| 架台 |
材質/塗装
パワーソース
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SS400製/焼き付け塗装
メインブレーカー：AC200V-30A,AC100V-30A
補助ポンプスイッチ×2個
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ベースセット（成膜チャンバと真空排気系）に多彩なオプションを組み合わせてお客様のご使用目的に合わせた蒸着装置を提供します。
さらにUHVオプション、ロードロック室オプションと組み合わせてMBEまで拡張できます。
※その他オプションについてはお問い合わせください。
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