[コンピュータを用いた制御･計測システム] (例･MBE装置のセル/シャッター/基板温度の制御) 装置の遠隔操作（自動及び手動）と 監視・データロギング ■自動運転のプログラム設定 　1.温調計及びシャッターのプログラムパターン編集 　2.作成プログラムファイル管理・読み出し 　3.各温調計およびシャッターのAUTO/MANIAL切り替え ■コンピューターと各機器の接続 　1.温調計：シリアルI/O 　2.シャッター：デジタルI/O ※これは、LabVIEWを用いた例です。詳細はお問い合わせ下さい。 [MBEシャッター制御ソフトウェア] 各セルに対して最大12chまでシャッターを制御することができます。 < 構成 > ・ソフトウェア ・パソコン ・インターフェースボード ・ケーブル ・設置及び動作確認 [MBEシャッター&温度制御ソフトウェア] シャッター制御の他に各セルの温度制御も合わせて行うことができます。 各セルに対して 最大12chまでシャッターを制御することができます。 < 構成 > ・ソフトウェア ・パソコン ・インターフェースボード ・ケーブル ・設置及び動作確認 オプション対応： CHINO DP/KPシリーズ、ユーロサーム PC3000他 [マスフロー制御ソフトウェア] マスフローの制御を最大12chまで一括管理できます。 < 構成 > ・ソフトウェア ・パソコン ・インターフェースボード ・ケーブル ・設置及び動作確認