サエス・ゲッターズ・ジャパン
ポンプ表面に気体分子を不可逆的に化学吸着して排気する真空ポンプです｡ 超高真空領域でも全ての活性なガスに対して高い排気速度を維持できます。従来のポンプでは困難だったこの領域での水素の排気も簡単です。 [特長］ ◎さらに超高真空 超高真空領域での水素を含む全ての活性な残留ガスに対する高い排気速度を実現。 既存のポンプと組み合わせて到達圧力を改善 ◎さらに超高純度 チェンバー内の希ガスの純化装置として威力を発揮 ◎超クリーンな真空 無振動・オイルフリー、金属蒸発による汚染無し
次世代型ポンプ　NEXTorr		高真空対応NEG(非蒸発型ゲッター)ポンプ CapaciTorr