アネスト岩田
オイルフリースクロールバキュームポンプ
真空を実現できる次世代の真空ポンプです。
大気圧から排気でき、ターボ分子ポンプの補助ポンプとしても最適です。
エアーフラッシュ機構、シールの改善によりメンテナンスサイクルも向上しました。
仕様
型式
ISP-250C
ISP-500C
設計排気速度
250L/min
500L/min
到達圧力
1.6Pa
1Pa
電圧
単層
100V
200V
三相
200V
400V
エアーフラッシュ機構付
オイルフリースクロールポンプ DVSLシリーズ
水処理能力に優れた蒸気排気に強いスクロールポンプです。
広域型ターボのバックポンプとしても使用できます。
仕様
型式
DVSL-100C
DVSL-100C-HC
DVSL-500E
設計排気速度
100L/min
433L/min
到達圧力
50Pa
70Pa
30Pa
水蒸気処理量
100g/day
250g/day
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