デジタルマスフローコントローラ

	GEシリーズ（エラストマシール）凡用サーマルマスフローコントローラー GMシリーズ（メタルシール) 凡用サーマスマスフローコントローラー、メータオプションあり
	■F.S.5～50000sccm 　■マルチガス/マルチレンジに設定変更可能 　■In-Sitaでの機能チェック、モニターが可能 　■高精度・設定値の1%精度を実現(校正ガス)

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	IEシリーズ(エラストマシール)　IP66仕様サーマルマスフローコントローラ IMシリーズ(メタルシール)　IP66仕様サーマルマスフローコントローラ、メータオプションあり
	■F.S. 5～50000sccm ■IP66仕様(防水、防塵) ■マルチガス/マルチレンジ対応 ■In-Situでの機能チェック、モニターが可能 ■高精度・設定値の1%精度を実現(校正ガス)

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	マスフローコントローラ用電源付流量設定表示器　OPT327
	■MFCの出力に相当する流量値（OUT）を前面スパンボリューム・小数点切り替えスイッチで スケーリング表示 ■「SET/OUT」切り替えスイッチにて設定値を表示 ■出力電圧　  +15V±3％ 200mA  -15V±3％  200mA (±15Vはそれぞれ100mA/300mAに対応)  +24V±3％ 250mA オプション ■電源：AC100～240V ■外形寸法：W96×H48×D131mm

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	ガスボックス用流量べリファイシステム　GBROR
	■MFCを取り外すことなく流量精度をチェック ■ガス種に依存しないRate-of-Rise方式を採用 ■実ガスでの測定が可能で高精度 ■測定流量レンジ：最高20slm

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