ダウンストリーム制御：排気バルブの開閉によるコンダクタンス変化でプロセス圧を制御

	【排気スロットルバルブ】　653B
	■フランジ形式　：ISO-KF/MF、ASA、CF、JIS 　■フランジサイズ：最高12インチ (320mm) 　■高速応答　1.7秒 (開→閉) 　■フラッパ位置表示器付き

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	【排気スロットルバルブ】　253B
	■フランジ形式：ISO-KF/MF、ASA、CF、JIS ■フランジサイズ：最高4インチ (100mm) 　■高いポンピング速度効率 　■広いダイナミックレンジ

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	【ヒーター付き排気スロットルバルブ】　253B / 653B
	■フランジ内壁最高温度：150℃ 　■凝縮性ガスの液化、コンタミ防止 　■ヒーターコントローラ (HC-1 / HC-2) 使用 　■温度センサ内蔵 (Pt100)

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	【スマート排気スロットルバルブ】　153D
	■フランジ形式：ISO-KF/MF、ASA、CF、JIS 　■フランジサイズ：最高4インチ (100mm) 　■スロットルバルブコントローラーと排気バルブを一体化して 　　コンピューター制御に最適 　■入力信号：アナログ・RS232C (153D)

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	【排気バルブコントローラ】　651C
	■653B / 253B対応コントローラ 　■電源出力：±15VDC、0.5A/1.5A 　■セルフチューニング/デジタルPID制御 　■RS232C インタフェース付き