アップストリーム制御：流量コントロールバルブとバラトロン真空計による圧力制御

	【圧力ベースマスフローコントローラ】　1640A
	■イオン注入のSDS用ガス供給 　■常圧TEOS CDVのオゾン供給 　■ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ

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	【自動圧コントローラ】　640A / 641A
	■F.S.レンジ ：1.33kPa～689kPa 　■絶対圧(640A)/ゲージ圧(641A)を1台で自動制御、ダウンストリーム制御も可能 　■バラトロン圧力計と比例制御バルブを一体化

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	【オールメタルシールコントロールバルブ】　148J
	■F.S.レンジ ：10sccm～20slm 　■オールメタルシール流量比例制御バルブ 　■運転温度：5～150℃ (温度指定)

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	【圧力/流量制御用シングルガス・コントローラ】　250E
	■電源出力：±15VDC、250mA 　■コントロールバルブ/圧力計 (圧力制御) 　■コントロールバルブ/流量計 (流量制御)

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	【シングルチャンネルパワーサプライ/リードアウト】　246C
	■電源出力：±15VDC、0.5A 　■外部セットポイント入力可 　■ガス補正計数ポテンショメーター付き