ガス生成・オゾン発生・マイクロ波

	【反応性ガス生成装置】　ASTRON
	■チャンバのリモートプラズマ洗浄に定評のあるASTRONの最新機種 　■コンパクトながら高出力・高解離 　■運転中はアルゴン添加不要

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	【マイクロ波電源 / プラズマソース】　SmartPower
	■コンパクトサイズ・低リップルのマイクロ波電源 　■アプリケーションに合わせた各種タイプ有り

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	【オゾン発生器 & サブシステム】　Liquozon & Semozon
	■高濃度で高純度のオゾンを供給する技術により、独立した発生器もしくはシステム仕様に合わせた供給サブシステムとして供給