真空バルブ技術で世界をリードする VAT社は30有余年、常に真空シール技術に焦点を当て、数多くの革新的（innovation）技術を世界に送り出してきました。例えば、 ●VATLOCK -　ゲートバルブ用シール機構 ●VATRING -　オールメタルバルブのシール機構エレメント ●MONOVAT -　Particle-freeのバルブ形式 ミニUHVゲートバルブ Series 01.0 主な用途 ・ロードロックチェンバー/メインチェンバー仕切り用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・Vulcanizedシール ・MONOVAT機構 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜5・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-8Pa to 0.2MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 50,000 許容温度 　バルブボディ ≦250℃(バルブ開)、≦200℃(バルブ閉) 　手動アクチュエータ ≦250℃ 　圧空アクチュエータ ≦200℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット メタル 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ICF70UHVゲートバルブ (手動式) 型式：01032-CE01 ICF70UHVゲートバルブ (手動式/borosilicate窓付き) 型式：01032-CE01-X ICF70UHVゲートバルブ (圧空作動式/単動シリンダー/NC/電磁弁・LS付き) 型式：01032-CE41   ICF70UHVゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：01032-CE44   ミニゲートバルブ Series 01.2 主な用途 ・ロードロックチェンバー/メインチェンバー仕切り用 特長 ・ボディ材質：アルミニウム ・Oリング軸シール ・Vulcanizedシール ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-5Pa to 0.1MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.1MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 50,000 許容温度 　バルブボディ ≦100℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦80℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール Oリング軸シール 取付方向 自由   NW25ミニゲートバルブ(手動式) 型式：01228-KA06   NW40ミニゲートバルブ(手動式) 型式：01232-KA06   NW25ミニゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：01228-KA44   NW40ミニゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：01232-KA44 高真空ゲートバルブ Series 09 主な用途 ・粗引きライン/フォアラインの仕切り用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・堆積物の多いプロセス向け ・0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作可能 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-8Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.12MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.12MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1hPa 第１回サービスまでのサイクル数 50,000 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦100℃ 　圧空アクチュエータ ≦100℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦60℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ISO-F100高真空ゲートバルブ (手動式) 型式：09140-PE01   ISO-F160高真空ゲートバルブ (手動式) 型式：09144-PE01   ISO-F100高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：09140-PE44   ISO-F160高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：09144-PE44   UHVゲートバルブ Series 10 主な用途 ・メインチェンバー/TMP仕切り用(UHV) 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・DN63-200 Valucanizedシール ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜5・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-8Pa to 0.16MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.16MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 50,000 許容温度 　バルブボディ ≦250℃(バルブ開)、 ≦200℃(バルブ閉) 　手動アクチュエータ ≦250℃ 　圧空アクチュエータ ≦200℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット メタル 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ICF114UHVゲートバルブ (手動式) 型式：10836-CE01 ICF152UHVゲートバルブ (手動式) 型式：10840-CE01 ICF203UHVゲートバルブ (手動式) 型式：10844-CE01 ICF114UHVゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：10836-CE44 ICF152UHVゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：10840-CE44 ICF203UHVゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：10844-CE44 高真空ゲートバルブ Series 11 主な用途 ・メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空) 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・DN63-200 Valucanizedシール ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.16MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.16MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦80℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦50℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ICF114高真空ゲートバルブ (手動式) 型式：11036-CE01 ICF152高真空ゲートバルブ (手動式) 型式：11040-CE01 ICF203高真空ゲートバルブ (手動式) 型式：11044-CE01   ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：11036-CE44   ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：11040-CE44   ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：11044-CE44   真空ゲートバルブ Series 12 主な用途 ・メインチェンバー/TMP仕切り用(低真空) 特長 ・ボディ材質：アルミニウム ・Oリング軸シール ・２分割ボディ/メンテナンス容易 ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-5Pa to 0.16MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.16MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦120℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦80℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール Oリング軸シール 取付方向 自由 JIS-VF65真空ゲートバルブ (手動式) 型式：12136-JA03 JIS-VF100真空ゲートバルブ (手動式) 型式：12140-JA03 JIS-VF150真空ゲートバルブ (手動式) 型式：12144-JA03 JIS-VF65真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：12136-JA44 JIS-VF100真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：12140-JA44 JIS-VF150真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：12144-JA44 高真空ゲートバルブ（O-リング回転軸シール）Series 14.0 主な用途 ・メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空) 　特に生産プロセスに最適 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・コンパクトデザイン ・巻き込みが無く確実、長寿命のOリング回転軸シール ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.2MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa(両方向) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦50℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール Oリング回転軸シール 取付方向 自由 ICF114高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14036-CE01 ICF152高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14040-CE01 ICF203高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14044-CE01   ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14036-CE44   ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14040-CE44   ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14044-CE44   高真空ゲートバルブ（O-リング回転軸シール）Series 14.1 主な用途 ・メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空) 　特に生産プロセスに最適 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・コンパクトデザイン ・巻き込みが無く確実、長寿命のOリング回転軸シール ・DN63-200 Valucanizedシール ・VATLOCK方式による確実なロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.16MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.16MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦80℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール Oリング回転軸シール 取付方向 自由 ICF114高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14136-CE01 ICF152高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14140-CE01 ICF203高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル) 型式：14144-CE01 ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14136-CE44 ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14140-CE44 ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：14144-CE44 ダイアフラムバルブ Series 22 主な用途 ・粗引き/バックラインの真空封止用 ・定量絞り、ガス導入および液体用バルブ 特長 ・ボディ材質：アルミニウム ・クリーニングおよびダイアフラムの交換が容易 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-5Pa to 0.5MPa(abs) 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦100℃ 　アクチュエータ ≦50℃ シール 　ダイアフラム FKM (Viton) 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流)   　DN16/25/40 2/5/17 ls-1 NW16ダイアフラムバルブ (手動式) 型式：22024-KA01 NW25ダイアフラムバルブ (手動式) 型式：22028-KA01 NW16ダイアフラムバルブ (手動式) 型式：22032-KA01   高真空シリンダーバルブ Series 25 主な用途 ・大きなコンダクタンスが要求される高真空 　アプリケーションの排気およびベント用 特長 ・ボディ材質：アルミニウム ・最大級のコンダクタンス ・開および閉位置での機械的ロック 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.3MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.12MPa(バルブ開方向)   ≦0.3MPa(バルブ閉方向) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.12Pa 第１回サービスまでのサイクル数 100,000 許容温度 　バルブボディ ≦120℃ 　アクチュエータ ≦120℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール Oリング回転軸シール 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流) Series25.0 DN16/25/40 5/16/46 ls-1 Series25.1 DN16/25/40 6/19/55 ls-1 NW16高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ) 型式：25024-KA24 NW25高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ) 型式：25028-KA24 NW40高真空シリンダーバルブ (アングルバルブ) 型式：25032-KA24 NW16高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ) 型式：25124-KA24 NW25高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ) 型式：25128-KA24 NW40高真空シリンダーバルブ (インラインバルブ) 型式：25132-KA24 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26 主な用途 ・高真空アプリケーションの排気、ベント用(TMP/粗引きポンプ間) 特長 ・ボディ材質：アルミニウムまたはステンレス ・ベローズ軸シール ・長いライフサイクル ・大きな差圧対応 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.5MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa(バルブ開方向)   ≦0.5MPa(バルブ閉方向) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1MPa 第１回サービスまでのサイクル数 3,000,000回 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦120℃ 　圧空アクチュエータ ≦120℃ 　電磁弁 ≦80℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流) DN16/25/40 5/14/45 ls-1 NW16高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ) 型式：26424-KA01 NW25高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ) 型式：26428-KA01 NW40高真空アングルバルブ (手動式・アルミボディ) 型式：26432-KA01   NW16高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き) 型式：26424-KA41　ノーマルクローズ(NC) NW25高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き) 型式：26428-KA41　ノーマルクローズ(NC) NW40高真空アングルバルブ (圧空作動式・アルミボディ、LS、電磁弁付き) 型式：26432-KA41　ノーマルクローズ(NC)   高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26 主な用途 ・・圧縮空気が利用できない高真空アプリケーションの排気およびベント用　(TMP/粗引きポンプ間) 特長 ・ボディ材質：アルミニウムまたはステンレス ・ベローズ軸シール ・長いライフサイクル 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.2MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa(両方向) 第１回サービスまでのサイクル数 200,000回 許容温度 　バルブボディ ≦50℃ 　電源装置 ≦50℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　プレート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 電圧 110-120V/200-240V、50-60Hz 作動時電力/保持電力 700W/10W 開/閉時間 0.2s NW16高真空アングルバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26424-KA61　ノーマルクローズ(NC) NW25高真空アングルバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26428-KA61　ノーマルクローズ(NC) NW40高真空アングルバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26432-KA61　ノーマルクローズ(NC)   NW16高真空インラインバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26524-KA61　ノーマルクローズ(NC)   NW25高真空インラインバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26528-KA61　ノーマルクローズ(NC)   NW40高真空インラインバルブ (電磁作動式・アルミボディ、LS、電源装置付き) 型式：26532-KA61　ノーマルクローズ(NC) 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26 主な用途 ・チェンバーのベント用 　(例：N2パージ) 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・接続パイプ径：1/4インチ ・大きな差圧対応 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-9Pa to 0.5MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.5MPa(両方向) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦1.2MPa 第１回サービスまでのサイクル数 10,000回 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　ハンドホイール ≦120℃ (removable) シール 　ボンネット FKM (Viton) 　プレート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ICF70ガス導入バルブ (手動式・SUSボディ) 型式：26424-CE01-CAK1   UHV アングルバルブ Series 28 主な用途 ・超高真空アプリケーションの排気、ベント用 (TMP/粗引きポンプ間) 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・ベローズ軸シール ・長いライフサイクル ・大きな差圧対応 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜5・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 5・10-8Pa to 0.5MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa(バルブ開方向)   ≦0.5MPa(バルブ閉方向) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1MPa 第１回サービスまでのサイクル数 3,000,000回 許容温度 　バルブボディ ≦200℃ (open) ≦150℃ (closed) 　手動アクチュエータ ≦120℃ (without handwheel 200℃) 　圧空アクチュエータ ≦120℃ 　電磁弁 ≦80℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ シール 　ボンネット メタル 　プレート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流)   　DN16/40/63 5/45/160 ls-1 ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：28424-GE01 ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：28432-GE01 ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：28436-GE01   ICF34UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き) 型式：28424-GE41　ノーマルクローズ(NC) ICF70UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き) 型式：28432-GE41　ノーマルクローズ(NC)   ICF114UHVアングルバルブ (圧空作動式・SUSボディ、LS、電磁弁付き) 型式：28436-GE41　ノーマルクローズ(NC) RF コンタクト付きオールメタルゲートバルブ Series 47 主な用途 ・加速器、ストレージリング用のセクターバルブ ・マイクロウェーヴ伝送ラインの真空封止用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・VATRING機構 ・開および閉位置での機械的ロック機構 ・耐放射線性能 (標準105Gy) ・御指定のRF開口に対応可 ・スプリングによりRFコンタクトの再現性を確保 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-11Pam3s-1 使用圧力範囲 XHV to 0.2MPa(abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.1MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.05MPa 第１回サービスまでのサイクル数 10,000回 (DN63-160)    5,000回（DN200) 許容温度 　バルブボディ ≦300℃ 　手動アクチュエータ ≦200℃ 　電磁弁 ≦80℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ (オプション200℃) シール 　ボンネット メタル 　ゲート メタル 軸シール ベローズ 取付方向 ビームラインに水平であれば自由   ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃)   ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃)   ICF203RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47244-CE74 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃)   ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47236-CE44 (延長型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：300℃)   ICF152RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47240-CE44 (延長型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：300℃)   ICF114RFコンタクト付きオールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：47244-CE44 (延長型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：300℃)   オールメタルゲートバルブ Series 48 主な用途 ・加速器・ビームライン仕切り用 ・(極)UHVメインチェンバー/TMP (IP、NEG)仕切り用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・VATRING機構 ・閉位置での機械的ロック機構 ・耐放射線性能 (標準105Gy) ・300℃までベーク可能 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-11Pam3s-1 使用圧力範囲 XHV to 0.2MPa(abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa (DN16-40) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1MPa (DN16-40)   ≦0.05MPa (DN63-320) 第１回サービスまでのサイクル数 20,000回 (DN16-200)    5,000回 (DN250) 許容温度 　バルブボディ ≦300℃ 　手動アクチュエータ ≦140℃ (オプション：200℃) 　圧空アクチュエータ ≦200℃ 　電磁弁 ≦80℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ (オプション200℃) シール 　ボンネット メタル 　ゲート メタル 軸シール ベローズ 取付方向 自由 (DN16-250) ICF114オールメタルゲートバルブ (手動式) 型式：48236-CE01 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃) ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：48236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃) ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：48236-CE44 (延長型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：300℃) ICF152オールメタルゲートバルブ (手動式) 型式：48240-CE01 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃) ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：48240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：200℃) ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：48240-CE44 (延長型アクチュエータ　バルブ耐ベーク温度：300℃) 低価格オールメタルアングルバルブ Series 54 主な用途 ・(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・FLEX VATRING シール ・閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要 ・コンダクタンス大 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-11Pam3s-1 使用圧力範囲 XHV to 0.2MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.2MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1MPa 第１回サービスまでのサイクル数 1,000回 ベークアウト温度 ≦300℃ シール 　ボンネット メタル 　ゲート メタル 軸シール ベローズ 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流) 　DN16/40/63 5/50/105 ls-1 ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：54124-GE02 ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：54132-GE02 ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ) 型式：54136-GE02   オールメタルアングルバルブ Series 57 主な用途 ・(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・VATRING シール ・耐放射線性能108Gy (DN16-40手動式) ・コンダクタンス大 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-11Pam3s-1 使用圧力範囲 XHV to 0.5MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.5MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦0.1MPa 第１回サービスまでのサイクル数 10,000回 ベークアウト温度 　バルブボディ ≦450℃ (open)   ≦350℃ (closed) 　手動アクチュエータ   　六角ヘッド DN16-40 ≦450℃ (open)/≦350℃ (closed) 　 DN63-160 ≦300℃ (open & closed) 　圧空アクチュエータ   　 単動シリンダー ≦150℃ 　 複動シリンダー ≦200℃ 　電磁弁 ≦80℃ 　リミットスイッチ ≦80℃ (オプション：200℃) シール 　ボンネット メタル 　ゲート メタル 軸シール ベローズ 取付方向 自由 ICF70オールメタルアングルバルブ (手動式) 型式：57132-GE02 ICF70オールメタルアングルバルブ (圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：57132-GE41 ICF70オールメタルアングルバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：57132-GE44 ICF114オールメタルアングルバルブ (手動式) 型式：57036-GE02 ICF114オールメタルアングルバルブ (圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：57036-GE41 ICF114オールメタルアングルバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き) 型式：57036-GE44 オールメタルバリアブルリークバルブ Series 59 主な用途 ・超高真空プロセス圧力を微少流量制御 　(例：MBE、ガス分析) 特長 ・ボディ材質：ステンレス ・激しい腐食性ガスへの耐性 ・精密で再現性の高いガス流量調整 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-11Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-11Pam3s-1 使用圧力範囲 XHV to 1MPa(abs) バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦1MPa 第１回サービスまでのサイクル数 20,000回 ベークアウト温度 　バルブボディ ≦300℃ 　手動アクチュエータ ≦300℃ 　ステッピングモーター ≦50℃ 材質 　バルブボディ SUS 　ダイアフラム SUS+金メッキ 取付方向 自由 コンダクタンス(分子流) 0.05 ls-1 ガス流量調節範囲 1・10-11Pam3s-1 to 10Pam3s-1 コントローラ搭載型ステッピングモーター 　ポジション分解能 10万ステップ(回転角0-90°に対して) 　閉時間 3.5s ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ (手動式) 型式：59024-GE01 ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ (コントローラ搭載型ステッピングモーター) 型式：59024-GEGG (RS232) ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ (コントローラ搭載型ステッピングモーター) 型式：59024-GEGC (Logic)   バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.5 主な用途 ・SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御および真空封止用 ・特に高速で高度なプロセスに最適 (例：CVD) 特長 ・ボディ材質：硬質アルマイト加工アルミ or SUS ・コンパクトデザイン ・高速動作 ・極めて短い制御応答時間 ・ポジションインジケータ付き ・少ないガス流量で高圧までの正確な圧力制御 ・メンテナンスが簡単 仕様 リーク量 　バルブボディ ＜1・10-10Pam3s-1 　バルブシート ＜1・10-10Pam3s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.16MPa(abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 ≦0.16MPa バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30hPa 第１回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 　バルブボディ ≦150℃ 　手動アクチュエータ ≦80℃ 　圧空アクチュエータ ≦80℃ 　電磁弁 ≦50℃ 　リミットスイッチ ≦50℃ シール 　ボンネット FKM (Viton) 　ゲート FKM (Viton) 軸シール ベローズ 取付方向 自由 NW40バタフライバルブコントロールシステム 型式：61532-KEGG (RS232) NW50バタフライバルブコントロールシステム 型式：61534-KEGG (RS232) ISO-F63バタフライバルブコントロールシステム 型式：61536-PEGG (RS232) NW40バタフライバルブコントロールシステム 型式：61532-KEGC (Logic)   NW50バタフライバルブコントロールシステム 型式：61534-KEGC (Logic) ISO-F63バタフライバルブコントロールシステム 型式：61536-PEGC (Logic)