クリスタル/コールドカソードゲージ　 CC-10　　　　　 最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力 測定範囲(1.0×105～1.0×10-7Pa)の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。 大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから10-7Paまでは コールドカソードゲージを使用し測定します。 センサー・ 回路部・ディスプレイ一体型により、本製品のみで 圧力表示・セットポイントによるシステム制御が行えます。 また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備しております。 測定範囲　　　　：1.0×105～1.0×10-7Pa センサー　　　　：クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ 表示　　　　　　：7セグメントLED アナログ出力　　：DC0～10[V]　　log出力または複合出力から選択 セットポイント　：3点(1点独立、2点はコモン共通) 　　　　接点容量；DC50V、0.12[A] デジタル インターフェイス：RS485 フランジ　　　　：NW25、又はICF70 電源電圧　　　　：DC22～26[V] 動作時周囲温度　：0～50[℃] ベーキング温度　：Max 100℃　(回路は取り外すこと) 外径寸法　　　　：94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]　　(NW25) 　　　　　　　　　94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]　　(ICF70) 重量　　　　　　：840[g]　　(NW25) 　　　　　　　　　1060[g]　(ICF70) ・CC-10専用表示器　DS-10 ：小型なボディー(48(W)×45(H)×100(D)[mm])で 　　　　　　　　　　　　　　　密度の高い実装が可能です。 ・アダプタセット1　AC-1-5：AC100[V]からCC-10本体への電源供給用 ・アダプタセット2　AC-2-5：AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用 ・真空蒸着装置 　　　　　　　　　・ 光学薄膜生成装置 ・加速装置とUHV研究　　　　　　・ 電子デバイス製造装置 ・光電子工学のデバイス製造装置 お客様でメンテナンスが行えます。 下記はクリーニングの手順です。

ミニチュアイオンゲージ　IG-10　　　　　　　　　　　　 センサー・回路一体型のトランスデューサー型B-Aゲージ フィラメント2本を標準装備 (断線を防ぐ保護機能付き) 測定範囲　　　　：1.33×10-7～6.65Pa 表示　　　　　　：デジタル表示　(仮数部3桁、指数部2桁) フィラメント材質：イットリアコートイリジウム デガス　　　　　：4(W) ボンバード方式 エミッション電流　・4(mA)　　推奨圧力範囲 1.33×10-7～1.0×10-2(Pa) (切替方式)　　　 ：・100(μA) 推奨圧力範囲 1.0×10-4～6.65(Pa) 外部制御　　　　：FIL　ON/OFF・デガスON/OFF・エミッション切替 ガス種設定　　　：N2・Air・O2・CO2・Ar・He等　16種類 アナログ出力　　：0～9(VDC)　[ログリニア]：1(V)/1桁 使用温度　　　　：温度0～40℃　湿度95%以下 (結露せぬこと) ベーキング温度　：200℃ (回路部を取り外すこと) 電源　　　　　　：DC20～28V 14[W] 外径寸法　　　　：70(W)×82(H)×68(W) mm　(センサー部は除く) フランジ　　　　：NW25、ICF70 通信機能　　　　：RS-485 セットポイント　：1点

ピラニゲージコントローラー　　PG-20/PG-30　 　　　 故障に強い定温度型 1.0×10-1～1.0×104(Pa)の測定範囲 小型なボディーで省スペース化が可能 測定範囲：1.0×10-1～1.0×104 (Pa) 出力信号：a) 制御出力　　　リレー接点出力容量AC100Vmax・1Amax 　　　　　　　　　　　　　　(設定値より圧力が低いとき出力ONとなる) 　　　　　b) アナログ出力　 0～5V F.S. (1V/1桁) 　　　　　　出力インピーダンス　1KΩ 使用温度：温度5～40℃・湿度90%以下 (結露せぬこと) 電源　　：PG-20：AC85～132V・12VA以下(AC100V、50/60Hz) 　　　　　PG-30：DC24V±10%　8W以下 外径寸法：96(W)×96(H)×120(D) mm (突起部は除く) 測定子　：型式 S-212 (Φ15/Φ18) 他 製品構成：本体・測定子・センサーケーブル・電源ケーブル (PG-20のみ)