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 電離真空計センサIG40 BA、IG40 EX | |
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特長と利点・B-A真空計とエキストラクタ真空計は共に陰極交換が可能・検出部ごとに較正することで高精度測定を実現 |
B-A検出部
・測定範囲：2×10-9～1Pa ・適切に溶接された保護シールド エキストラクタ検出部 ・測定範囲：2×10-10～10-2Pa ・X線およびイオン脱離作用を大幅に低減 |
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