NEXTorr IP-ONの状態で3日間1.7Pa×10^-8Pa保持！

NEXTorr IP-OFFの状態で3日間1.5Pa×10^-7Pa保持！ ※無負荷時

超高真空状態を保持したまま電源なしでも搬送可能！

独自の脱ガス処理を施し、部品からのガス排出を低減！

搬送時はゲッターポンプにて排気するので電源が不要！

基板受け渡しのための搬送機構（マグネットフィードスルー）を標準装備！

次世代ポンプNEXTorr(イオンポンプ＋ゲッターポンプ)専用電源により真空度表示も可能！

コンパクトなデザインで専用キャリーケースを用いれば楽々持ち運び！