株式会社アールデック

超高真空高精度冷却試料マニピュレータ i-GONIO




独立行政法人 産業技術総合研究所との共同研究により、超高真空中での分析において
試料の低温化と三次元角度制御の両立を目指し、新たな「UHV 高精度冷却試料三次元
角度制御ステージ」を開発しました。
試料の低温化と三次元角度制御の両立が可能であることを立証し、開発を進めることに
より完成しました。
i-GONIO が、研究開発のスピードアップと今後より複雑となって行くであろう最先端の
理化学分野において、重要なパートナーとしてきっとお役に立つでしょう。








冷却方式LHe フロー方式
ヒーター低温コントロールヒーター内蔵
対磁性完全非磁性
バイアス印加サファイヤフローティング(オプション)
全シリーズがサンプルトランスファー対応




◆ 多様なサンプルホルダー形状に対応可能
◆ 導入内径φ58mm のコンパクト設計
◆ 複数個のサンプルホルダーに対応


ステージ構成 固定2 段ステージ(ステージ段数選択可能)
冷却到達温度 7K(2 段ステージ構成/ フローティング有)
輻射シールド 開閉式シールド










◆ チルト型ステージで最高の到達冷却能力
◆ 固定/ チルト複合型ステージが可能


ステージ構成 チルト回転(2 段ステージの場合は上段が固定
冷却到達温度 チルトステージ 10K(2 段ステージ構成)
固定ステージ  7K
チルト範囲 -5°~ 60°
角度分解能 0.05°(片押し時)
輻射シールド 開閉式シールド










◆ 面内回転型ステージで最高の到達冷却能力と角度分解能


ステージ構成 面内回転
冷却到達温度 9K
面内範囲 ±90°
角度分解能 0.1°(片押し時)
輻射シールド 固定シールド










◆ 左右対称設計のため、トランスファー方向光入射方向が自由


ステージ構成 チルト回転
冷却到達温度 12K
チルト範囲 -5°~ 60°
角度分解能 0.05°(片押し時)










◆ X/Y/Z/θステージとの組み合わせにより6軸タイプマニピュレーターに対応


ステージ構成 チルト回転/ 面内回転
冷却到達温度 12K
チルト範囲 -5°~ 60°
面内範囲 ±90°
チルト角度分解能 0.05°(片押し時)
面内角度分解能 0.2° ( 片押し時)
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