エタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置。 各種基板上に垂直配向カーボンナノチューブが合成できます。 シリコン・石英・チタン・ステンレス・銅・セラミックスに垂直配向したＣＮＴを直接成長させます。 全プロセスは20分以下。還元ガスを使用せずにCNTが作製できます。 オプションとして、炭化水素ガス等も導入できます。試験研究用装置として、お気軽にご使用下さい。 本体 パイレックス製チャンバー φ16mm×H125mm   パージガス導入ポート 1ライン   排気ポンプポート 1ライン   リークポート 1ライン   真空計 ブルドン式1台   電流端子導入ポート 2対 (1対：予備)   外径寸法 W400mm×H230mm×D265mm ヒーター 面積 30mm×50mm   常用温度 400℃～700℃ 電源 定格出力電流 40A   定格出力電圧 400W   動作電源 AC90-250 単相50-60Hz   外径寸法 W110mm×H130mm×D405mm 排気ポンプ ロータリーポンプ 1台 液体燃料用るつぼ   1ヶ (以下オプション)     CVD原料導入用SUSチャンバー 液体燃料導入ポート 1ライン   炭化水素ガス導入ポート 1ライン   還元ガス導入ポート 1ライン   予備ポート 1ライン   液体燃料用容器 1ヶ 追加電源セット 電源 1台   ヒータ 1組 放射温度計   1台 事前に作製した触媒付き基板を減圧したチャンバー内で加熱し CNTで合成するCVD装置。 炭素源であるエタノールは、事前導入または途中導入(オプション)を 選択できる。