本装置は、量子ビット（"Qubit"）やジョセフソン接合を含む超電導ループからなる
超電導磁束量子ビット("Suoercondudting flux Qubit")の研究に欠かせない
全世界で抜群の納入・稼働実績を誇るフランスPLASSYS社製成膜装置です。

基板セット後、真空排気、基板表面のトリートメント、
斜め蒸着基板角度の設定、蒸着レートと膜厚の設定、
酸化条件の設定などがパソコン画面上で簡単に設定でき自動運転が行えます。
高品質で再現率の良い量子ビットの制作が可能になる
Quick turnaround timeなシステムです。