超高真空表面構造分析装置 567DAG 半導体やモデル触媒等におけるLEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が可能な表面分析装置です。 分析計にはLEED / AES質量分析計を搭載、金属薄膜作製に最適なEBエバポレーターなどが搭載されている表面構造分析装置です。 表面分析系 LEED / AES 蒸発源 超高真空エバポレーター AEVシリーズ ガスソース 水素クラッキング銃　AEVシリーズ 試料加熱 直接通電加熱式 (TCコンタクト式サンプルホルダー) 試料マニピュレーター X,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作 昇温脱離分析 四重極質量分析計 ガス導入系 高精度バリアブルリークバルブ 分析室真空度 10-8Pa台　(TMP排気) *オプションでIP排気系搭載可能 (10-9Pa台) 　試料ロードロック機構標準装備 超高真空排気制御系 全自動排気制御　(タッチパネル搭載)