CVD装置用ガス混合システム

DA0060

CVD装置に混合したガスを供給するためのシステムです。
複数のガス種を任意の比率により混合して供給することができます。ベルトラインを設けることにより、バルブ操作による圧力がの変動が軽減されるように設計されています。