超高真空X線光電子分光装置 DA0084 半球型エネルギーアナライザーとモノクロX線により高分解なXPS分析ができます。 MBE装置などとのドッキングが可能で、超高真空を破ることなく材料分析ができます。 分析室 パーマロイシールド付き サンプルサイズ 10mm×10mm 角度分解能 0.05° 試料マニピュレーター 4軸モーターコントロール (X, Y, Z, θ) 排気系 IP / TSP付き・TMP・SP