超高感度リーク試験 / 放出ガス測定装置 459MNK MEMS, 赤外線センサー等の超高感度リーク試験やFED、半導体デバイスを動作されるときに発生する放出ガスのトレンドが測定できデバイスの性能評価に役立ちます。 排気系 300L/sec. 磁気浮上型TMP 50 L/sec.TMP(タンデム)・SP 到達圧力 5×10-9～10-1Pa以下 分析計：超低ガス放出四重極質量分析計 TULO-RGA101 　　　　 (真空実験室社製) 最小検出分圧感度 1×10-12Pa 質量分析範囲 1～100amu (オプション200 or 300) 全圧測定範囲 10-9Pa～10-1Pa