真空対応ウェハーマッピングFTIR測定装置 760MNK ウェハー上に成膜した材料を真空下でFTIRを用いて測定し、ウェハー内の組成分布解析や各成分の定量分析が可能です。 FTIRの基本機能に加えて、真空下でウェハー内をマッピングすることにより短時間で容易に水蒸気・炭酸ガス等のバックグラウンドの影響が除去された高精度測定が可能です。 FTIR
ウェハーマッピング部
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