マルチコンタクトデバイス評価装置 697MNK ロードロック室かデバイスを導入し、複数の電極の確実なコンタクトをする事により、デバイス評価ができます。 ガス導入系により任意のガス種・圧力での実験も可能です。 　　通電チェンバー チェンバー φ250×350 試料マニピュレーター 3軸 (X, Y, Z) / 多ピンコンタクト機構付 排気系 TMP 800l/sec・ SP 500l/min 　　ロードロック室 チェンバー φ250×350 搬送機構 トロッコ式サンプル導入機構 排気系 TMP 200l/sec・SP 　　ガス導入系 制御系 バラトロン圧力制御 (自動マスフロー流量制御)