【仕様】
| センサ方式 |
熱式巻線センサ |
| 流量レンジ (N2換算) |
10SCCM〜20SLM |
21〜100SLM |
| 精度 |
±2% F.S.(25℃) |
±3%F.S.(25℃) |
| 入口最大圧 |
500kPa(G) |
| 耐圧 |
1MPa(G) |
| 許容周囲温度 |
0〜50℃ |
| 許容保存温度 |
-10〜60℃ |
| 許容周囲湿度 |
30〜80%RH(結露なきこと) |
| 温度係数 |
±0.2％F.S./℃(15〜35℃) |
| 接ガス部材質 |
SUS303、PTFE、FKM(ｵﾌﾟｼｮﾝNBR or CR) |
| 電気接続 |
ﾋﾛｾHR10A-7R-6P(ｹｰﾌﾞﾙ側HR10A-7P-6S) |
| 接続口径 |
標準：Rc1/4 (その他はご相談下さい) |
| 所要電源 |
24VDC(±5% )100mA(オプションACアダプタ) |
| 流量出力信号 |
1〜5V、4〜20mA(注文時選択) |
| イベント出力 |
NPNオープンコレクタ２点
最大定格30VDC 50mA |
