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【特長】 ■厳しいリーク規格 (2×10-8Pa/m3/sec) ■精密ニードル使用 ■優れた温度特性 【用途】 □真空装置に □半導体製品装置に □有毒・腐食性ガスラインに 【メーカー】 コフロック ※使用流体はN2で記載しておりますが、他のガスでも製作可能です。※ご注文の際にはご使用の圧力の指定をお願いいたします。
【仕様】 調節ネジ回転数 約13〜16回転(ただし有効回転数は5〜16回転) 最大使用圧力 1MPa 最高使用温度 120℃ 対象 ガス、液体 流体接触部材質 SUS316、フッ素樹脂、フッ素ゴム 接続口 1/4SWL
