超高真空装置、化学分析装置の通信販売
HOME
会社案内
製品紹介
新着情報
お問い合せ
SHOP TOP
ログイン
新規会員登録
マイページ
カートを見る
ご利用ガイド
ポンプ
ポンプ用部品
バルブ
チャンバ
フランジ
ガスケット
ビューポート
キューブ・クロス
ティ・エルボ・ニップル
クランプ・Oリング
フレキ・ベローズ
アダプタ
導入機
電流端子
-測温端子(TC用)
-同軸端子(BNC等)
ガス導入系
真空計
-ゲージ球
蒸着・スパッタ源
膜厚計
-蛍光X線関連
加熱・冷却関連
リークディテクタ
表面分析
質量分析
超高真空マニピュレーター
防振対策/圧空機器
計測機器
洗浄機器
顕微鏡関連
-TEMグリット
照明・光源
その他
-ソフトウェア
光学機器
全商品一覧
カテゴリ一覧
HOME
>
バルブ
>
HVゲートバルブ Series91
HVゲートバルブ Series91
※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。
メカニカルブースターバルブの仕切用として最適!
【メーカー】
VAT株式会社
DN63 手動式
09136-PE01
427,240円
お問合わせ下さい
DN100 手動式
09140-PE01
522,060円
お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"
ご利用ガイド
"へ
【仕様】
リーク量
-ボディ
<1・10
-10
Pam
3
s
-1
-バルブシート
<1・10
-8
Pam
3
s
-1
使用圧力範囲
1・10
-7
Pa to 0.12MPa(abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧
≦0.12MPa(両方向)
バルブを開けるときの許容最大差圧
≦0.1MPa
ベローズ軸シールのサイクル数
100,000
第1回サービスまでのサイクル数
5,000
1)
許容温度
2)
-バルブボディ
≦120℃(150℃ on request)
-手動/圧空アクチュエータ
≦100℃
材質
-バルブボディ
AISI 304(1.4301)
-ゲート
AISI 304(1.4301、1.4308)
-ベローズ
AISI633(AM 350)
-小部品(接触にかかわる部材)
A2 Ni Teflon-coated, PEEK
シール:ゲート、ボンネット
FKM(VITON
®
)
取付け方向
自由
1) プロセスによっては、より短いサービスサイクルになる。
2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。