| センサ方式 |
熱式巻線センサ |
| フルスケール流量 (N2換算) |
10SCCM〜20SLM(任意に選択) |
| バルブ方式 |
比例ソレノイドバルブ(非通電時：閉) |
| 制御範囲 |
2〜100％F.S. |
| 応答性 |
2sec以内(within±2% F.S.) |
| 精度 |
±1% F.S.(25℃) |
| 温度係数 |
±0.1％F.S./℃(15〜35℃) |
| 再現性 |
±0.5％F.S. |
| 動作差圧範囲 |
F.S.≦5SLM 50〜300kPa
F.S.>5SLM 100〜300kPa |
| 入口最大圧 |
500kPa(G) |
耐圧 |
1MPa(G) |
| 許容周囲温度 |
5〜45℃ |
| 許容保存温度 |
-10〜60℃ |
| 許容周囲湿度 |
10〜90%RH(結露なきこと) |
| 接ガス部材質 |
SUS316,SUS316L,磁性ｽﾃﾝﾚｽ(MFCのみ)、FKM(ｵﾌﾟｼｮﾝNBR or CR) |
| 電気接続 |
D-subハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S |
| 所要電源 |
24VDC(±10%) 300mA以下 |
| 流量設定入力信号 |
0〜5VDC（入力インピーダンス100kΩ以上/4〜20mA(入力ｲﾝﾋﾟｰﾀﾞﾝｽ約250Ω) |
| 流量出力信号 |
0〜5VDC（負荷抵抗250kΩ以上)
4〜20mA （負荷抵抗300Ω以下) |
| デジタル通信 |
RS485 |
| 継手(本体口径） |
標準 Rc1/4
ｵﾌﾟｼｮﾝ：1/4SWL、1/8SWL、1/4VCR
(9/16-18UNF) |
| 重量 |
約1200g |
