【仕様】
| 許容リーク量 |
≦1.33x10-11Pa・m3/sec
（1Pa以下の差動排気が必要） |
| 真空シール方式 |
UHVシール方式 |
| 駆動方式 |
ウォームギヤ式 |
| 許容加熱温度 |
≦200℃ |
| 角度分解能 |
0.1° |
| 回転速度 |
2rpm 以下 |
型 式 |
A接続フランジ
B移動フランジ |
C内径
（mm） |
D
（mm） |
E
（mm） |
F差動排気
フランジ |
G
（mm） |
H
（mm） |
I
（mm） |
重量
（Kg） |
| ARS-275 |
ICF70-FT
ICF70-FT |
φ39 |
70 |
18 |
ICF34-FT |
60 |
74 |
68.5 |
3.2 |
| ARS-4 |
ICF114-FT
ICF114-FT |
φ65 |
70 |
89 |
4.2 |
| ARS-6 |
ICF152-FT
ICF152-FT |
φ105 |
90 |
119 |
96 |
6.4 |
| ARS-8 |
ICF203-FT
ICF203-FT |
φ155 |
100 |
33 |
120 |
169.5 |
174 |
13.5 |
