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真空中の回転運動が大気側から操作できる回転導入機です。 シャッター用などにお使い頂けます。 ・圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応 ・マグネットカップリング方式を採用 ・真空側軸受けには長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用・ストッパーにより任意の角度設定が可能[メーカー]AVC
[仕様] 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec 駆動方式 マグネットカップリング方式 許容加熱温度 ≦200℃ 型 式 A接続フランジ 移動軸径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) 回転トルク(Nm) 重量 (Kg) ARM-133 ICF34-FH φ6(g6) 104.5 50 φ39 0.1 0.3 ARMH-133 0.4 ARM-275 ICF70-FH φ8(g6) 151.5 φ65 1.7 2.4