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ロードロック室の圧力モニターにオススメ 大気圧付近でのガス種依存性無し 差圧測定可能なため安全に大気開放できます。 1.0×103Pa〜1.33×105Pa 【メーカー】mks
【セット内容】 真空計セット ・901本体 (NW16 or NW25, RS232) ・コントローラー (PDR900) ・ケーブル (3m) ・アナログアウトプットコネクタ付き
