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コンパクトドライ排気セット

コンパクトドライ排気セット

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

コンパクトで持ち運びに便利
ロードロック室の排気に最適

クリーン排気&真空
ドライスクロールポンプとターボ分子ポンプの組合せで、完全ドライの高真空排気システムです。

コンパクト
設置面積が小さいため現在ご使用中の装置に 近接して設置可能です。

【メーカー】
アネスト岩田




ISP-50搭載 VTU-080-LM 1,327,700円 お問合わせ下さい お問い合せ
ISP-50搭載 VTU-080-LMA1 1,466,300円 お問合わせ下さい お問い合せ
ISP-90搭載 VTU-080-LH 1,478,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
ISP-90搭載 VTU-080-LHA1 1,617,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
  VTU-080-LM VTU-080-LH
スクロールポンプ ISP-50 ISP-90
ターボ分子ポンプ 80L/sec
到達圧力 (Pa) 10-4 (No baking) 10-5 (No baking)
電源電圧 (V) 1φ AC100V, 115V, 200V, 300V
外径寸法 (mm) 235×436×475
※A1:真空パイロット電磁弁付