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薄膜蒸着コントローラー

薄膜蒸着コントローラー

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

・強力なプロセスレシピとデータ管理機能
・迅速なセットアップに寄与する
 Auto Tune機能
・再現性に優れたマルチセンサー測定
・精密な同時蒸着

※その他オプションについてはお問い合せ下さい。

【メーカー】
インフィコン


2chセンサー IC6-110100 2,310,990円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターパッケージ
ケーブル4.6m
781-611-G15 139,260円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
周波数範囲 :6.0〜4.5MHz
周波数分解能:±0.0035Hz@6MHz 測定間隔  :0.1sec
メモリ保存膜数:99
膜厚レート分解能:±0.00433Å