・強力なプロセスレシピとデータ管理機能
・迅速なセットアップに寄与する
　Auto Tune機能
・再現性に優れたマルチセンサー測定
・精密な同時蒸着

※その他オプションについてはお問い合せ下さい。

【メーカー】
インフィコン