[仕様]
| 許容リーク量 |
≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
| 真空シール方式 |
溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 |
ネジ式 |
| 許容加熱温度 |
≦200℃ |
| 直進力 |
120N |
型 式 |
Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ |
移動軸径
(mm) |
C
（mm） |
D
（mm） |
重量
（Kg） |
| ALMR-133/10 |
10
0.01 |
ICF34-FH |
φ6
(g6) |
130.5 |
50〜 60 |
0.7 |
| ALMR-133/20 |
20
0.01 |
153.5 |
50〜 70 |
0.8 |
| ALMR-133/50 |
50
0.01 |
213.5 |
50〜100 |
0.9 |
| ALMR-275/10 |
10
0.01 |
ICF70-FH |
130.5 |
50〜 60 |
1 |
| ALMR-275/20 |
20
0.01 |
153.5 |
50〜70 |
1 |
| ALMR-275/50 |
50
0.01 |
213.5 |
50〜100 |
1.4 |
