[仕様]
| 許容リーク量 |
≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
| 真空シール方式 |
溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 |
ネジ式 |
| 許容加熱温度 |
≦200℃ |
| 直進力 |
150N |
型 式 |
Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ |
移動軸径
(mm) |
C
（mm） |
D
（mm） |
重量
（Kg） |
| ALML-133/20 |
20
1 |
ICF34-FH |
φ6
(g6) |
113.5〜133.5 |
10〜30 |
0.6 |
| ALML-133/30 |
30
1 |
130.5〜160.5 |
10〜40 |
0.6 |
| ALML-133/50 |
50
1 |
173.5〜223.5 |
10〜60 |
0.8 |
