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各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる 回転導入機構です。
1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応 2.マグネットカップリング方式を採用 3.回転トルク:1.7Nm 4.中空軸により多軸導入に応用可能 5.回転中空軸の寸法 / 形状指定が可能 6.モーター駆動にも対応可能 7.分解能:0.1° (手動ハンドルオプションの場合) 8.回転軸寸法指定可能[メーカー]AVC
[仕様] 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec 駆動方式 マグネットカップリング方式 許容加熱温度 ≦200℃ 型 式 A接続フランジ B接続フランジ C (mm) 回転トルク(Nm) 重量 (Kg) ARMW-275/133/S1 ICF70-FH ICF34-FT 100 1.7 2.4 ※写真は手動ハンドルオプション付