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各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる 回転導入機構です。
1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応 2.ウォームホイール&ギヤ駆動方式 3.中空軸により多軸導入に応用可能 4.回転軸の寸法 / 形状指定が可能[メーカー]AVC
[仕様] 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec 駆動方式 マグネットカップリング方式 許容加熱温度 ≦200℃ 型 式 A接続フランジ B接続フランジ C （mm） 減速比 重量 （Kg） AWG-275 ICF70-FH ICF34-FT ご指定長 1/30 3.6
