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PUSH-PULL型直線導入機

PUSH-PULL型直線導入機

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

真空中での調整および位置確認に利用できます。
通常の導入機よりもスムーズに操作ができます。

1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
2.非磁性・ベーキング対応
3.シャッター機構などの大気側での位置確認が可能
4.押付を必要とされる機構に
5.圧空駆動オプション対応



[メーカー]
AVC




133/25 ALMP-133_25 220,000円 お問い合せ
133/50 ALMP-133_50 228,800円 お問い合せ
133/75 ALMP-133_75 259,600円 お問い合せ
133/100 ALMP-133_100 299,200円 お問い合せ
133/150 ALMP-133_150 393,800円 お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

[仕様]
型式 :ALMP-133
接続フランジ :ICF34-FH
移動軸 :φ6 (g6)
移動量 :25・50・75・100・150 mm
許容リーク量 :≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 :溶接ベローズ式
許容加熱温度 :≦200℃
駆動方式 :プッシュプル型
駆動推力 :30N

型 式
Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)
A接続フランジ
移動軸径
(mm)
C
(mm)
D
(mm)
重量
(Kg)
ALMP-133/25 25
5
ICF34-FH φ6
(g6)
193〜218 50〜75

0.7

ALMP-133/50 50
5

232〜282

 

50〜100 0.9
ALMP-133/75 75
5

264.5〜339.5

 

50〜125 1
ALMP-133/100 100
5

304.5〜404.5

 

50〜150 1.1
ALMP-133/150 150
5

369〜519

 

50〜200 1.3