【仕様】
アナライザ
マスレンジ 100, 200, 300, 1-6
検出器 ファラデー又はデュアル(ファラデ-/SEM切替)
最大使用圧力 1.3×10-2Pa
最小検出分圧 ファラデー:2×10-9Pa
SEM(チャンネルプレート):5×10-12Pa)
マス安定 定常状態で±0.1amu/8時間
分解能 10% valley
ベークアウト温度 250℃、コントローラーを外した状態
取付フランジ ICF70コンフラットフランジ
イオンソース オープン
イオンソース感度 2×10-6A/Pa
フィラメント タングステン 2本(トリアコートオプション可能)
マスフィルター 4ダブル
制御部/PC
コントローラー重量 1.7kg
環境 10-40℃以下、湿度80%以下(結露無き事こと)
LEDステータス表示 フィラメント1、フィラメント2、電源、通信
エレクトロンエネルギー 20〜100eV
エミッション電流 0〜2mA
その他の機能 フィラメント保護外部トリップポイント
ソフトウェア -EasyViewTM
-ウェブサーバアプレット
(IE5.0/5.5/6.0又はNetscape7.0で動作)
-ASCIIプロトコルサーバ
電力 24VDC,2.0A(電源供給モジュール100-240VAC付属)
通信 I/F 10/100base-T Ethernet