【仕様】
| 許容リーク量 |
≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
| 真空シール方式 |
溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 |
ネジ式 |
| 許容加熱温度 |
≦200℃ |
| 中空型 |
φ39mm |
| 型式 |
Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ
B移動フランジ |
C(mm) |
D(mm) |
重量(Kg) |
| ALM-275-1/25 |
25mm
1mm |
ICF70-FH
ICF70-FT |
85〜110 |
179 |
3 |
| ALM-275-1/50 |
50mm
1mm |
85〜135 |
204 |
3.1 |
| ALM-275-1/100 |
100mm
1mm |
105〜205 |
274 |
3.5 |
| ALM-275-1/150 |
150mm
1mm |
130〜280 |
349 |
4.5 |
| ALM-275-1/200 |
200mm
1mm |
160〜360 |
429 |
4.9 |
| ALM-275-1/250 |
200mm
1mm |
190〜440 |
509 |
5.5 |
| ALM-275-1/300 |
300mm
1mm |
210〜510 |
579 |
5.8 |
