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中空Zステージ ALMS275シリーズ

中空Zステージ ALMS275シリーズ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

各種真空装置における超高真空での導入系の移動が、大気から操作できる中空Zステージです。

[メーカー]
AVC





ALMS-275-1_025 377,300円 お問い合せ
ALMS-275-1_050 409,200円 お問い合せ
ALMS-275-1_075 456,500円 お問い合せ
ALMS-275-1_100 503,800円 お問い合せ
ALMS-275-1_150 566,500円 お問い合せ
ALMS-4_275-1_025 462,000円 お問い合せ
ALMS-4_275-1_050 495,000円 お問い合せ
ALMS-4_275-1_075 528,000円 お問い合せ
ALMS-4_275-1_100 561,000円 お問い合せ
ALMS-4_275-1_150 594,000円 お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

[仕様]
許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa･m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃

型 式
Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
重量
（Kg）
ALMS-275-1/25 25
0.1		 ICF70-FH
ICF70-FT		 85〜110

170〜195

 136 2.4
ALMS-275-1/50 50
0.1		 85〜135 195〜245 2.6
ALMS-275-1/75 75
0.1		 90〜165 220〜295 2.8
ALMS-275-1/100 100
0.1		 105〜205 245〜345 3.1
ALMS-275-1/150 150
0.1		 120〜270 295〜445 3.6
ALMS-4/275-1/25 25
0.1		 ICF114-FH
ICF70-FT		 85〜110 170〜195 180 3.4
ALMS-4/275-1/50 50
0.1		 85〜135 195〜245 3.6
ALMS-4/275-1/75 75
0.1		 90〜165 220〜295 3.8
ALMS-4/275-1/100 100
0.1		 105〜205 245〜345 4.1
ALMS-4/275-1/150 150
0.1		 120〜270 295〜445 4.6