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ポンプ表面に活性気体分子を不可逆的に化学吸着して排気する真空ポンプです。 超高真空領域でも全ての活性なガスに対して高い排気速度を維持できます。従来のポンプでは困難だった領域での水素排気も簡単です。 【用途】 ・UHV-XHV実験装置 ・ポータブル装置 ・SEM、TEM、FIB分析装置 【メーカー】 サエス・ゲッターズ
