| 形状 |
セパレートタイプ |
| 圧力測定範囲(N2) |
1x10-8Pa 〜0.1Pa （ICF70フランジ使用時） |
| 表示圧力単位 |
Pa、Torr、mbar で切り替え可 |
| 入力電源 |
AC85〜240V 50/60Hz |
| バイアス |
3kV〜500V最適制御(計測圧力最適な電圧に自動制御) |
| タフモード |
測定時カソード電極を通電加熱(温度を３段階に設定可) |
| デガスモード |
カソードを約700℃にフラッシュ加熱 |
| 外部入力信号 |
測定開始/停止
デガスON/OFF
タフモードON/OFF |
| 外部出力信号 |
セットポイント接点×2ch
アラーム接点 |
| 接続フランジ |
NW25（NW25KF）、ICF70（NW40CF） の2タイプ |
| 外部通信 |
RS232C、USB
PCに接続可 |
