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減圧・常圧プロセス用気化器

減圧・常圧プロセス用気化器

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● 液体マスフローメータ LM-3000Lシリーズとの組み合わせにより、各種液体材料(TEOS,TEB,TEPO,etc) を精密流量制御すると同時に高効率で気化
● ピエゾバルブ採用
● 常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
● 最高160℃の加熱が可能
● コンパクトなボディサイズ


VU-206N 748,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
項目 型式 仕様
最大流量（TEOS換算）   7.0g/min (6.0cc/min) ※液種により異なる
キャリアガス流量   MAX 14 SLM
コントロールバルブ   ピエゾアクチュエーター、ノーマリーオープン
シャットオフバルブ   空圧アクチュエータ、ノーマリークローズ
最高使用温度   160℃
質量   約 1.4kg
耐圧（ゲージ圧）   1 MPa G
リークレート   1 x 10 -11 Pa・m 3 /sec （He）
標準継手 プリカーサ入口 3.2 (1/8) VCR male
キャリアガス入口 6.35 (1/4) VCR male
気化ガス出口 6.35 (1/4) VCR female
最大消費電力   120V A.C 単相 50W 2本並列
100V 印加時 70W
  240V A.C 単相 50W 2本直列
200V 印加時 70W
温調用熱電対   K Type (CA)
内蔵サーマルスイッチ（異常加熱アラーム） 高温 180°C ±15°C オープン
(AC120V/5A、250V/2.5A)
低温 60°C ±2.8°C クローズ
(AC120V/5A、250V/2.5A)
接液、接ガス部材質   SUS316L、Au、Ni-Co、ポリイミド
取付方向   キャリア入口 又は 空圧アクチュエーター 上方
標準付属品 LM-VU接続ケーブル CC-LV-4-1M
※VU-206-A (汎用タイプ) のみ 熱電対コネクタ CMP02-K (RKC)
ヒーター用コネクタ SRCN6A13-3S (JAE)
サーモスイッチ用コネクタ SRCN6A13-5S (JAE)