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チェンバーの加圧防止+バルブ により、一次側ガスラインと仕切ることができる ・N2パージライン等へ接続することで、真空チェンバーを加圧することがなく保護できます。 ・バルブにて一次側パージライン等を仕切る事が可能です。 【メーカー】 AVC
