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ロードロックチェンバー

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

材質：SUS304
表面処理：内外面#400バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10^-11Pa・m³／sec以下

【メーカー】
AVC

ICF114タイプ	ALLC-4		534,600円
ICF152タイプ	ALLC-6		581,900円
ICF203タイプ	ALLC-8		753,500円
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

【仕様】
ALLC-4
ICF114タイプ
ICF114×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所

ALLC-6
ICF152タイプ
ICF152×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所

ALLC-8
ICF203タイプ
ICF203×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所