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ロードロックチェンバー

ロードロックチェンバー

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

材質:SUS304
表面処理:内外面#400バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa・m3/sec以下

【メーカー】
AVC


ICF114タイプ ALLC-4 583,000円 お問い合せ
ICF152タイプ ALLC-6 638,000円 お問い合せ
ICF203タイプ ALLC-8 825,000円 お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
ALLC-4
ICF114タイプ
ICF114×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所

ALLC-6
ICF152タイプ
ICF152×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所

ALLC-8
ICF203タイプ
ICF203×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所