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マイクロイオン真空ゲージモジュール

マイクロイオン真空ゲージモジュール

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

【392】
1×10-7Pa〜大気圧までの測定を1台で!
 独自の制御技術によるゲージ切換え時の優れた直線性!

【390】
392マイクロイオンプラス真空ゲージ
+ダイアフラムゲージで
正確に大気圧付近を測定
1×10-7Pa〜大気圧
 ロードロック室の真空モニターに

【メーカー】
mks


NW25
精度±5%		 392402-0-YE-P 284,020円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF70
精度±5%		 392402-0-YG-P 291,280円 お問合わせ下さい お問い合せ
電源ケーブル 390200-1 61,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
測定範囲 1×10-7Pa〜大気圧
精度 1.3×10-6Pa〜13.3Pa±15%
13.3Pa〜20kPa±10%
20kPa〜133kPa±2.5%(390)
20kPa〜133kPa±5%(392)
イオンゲージフィラメント材料 イリジウム（タングステンコートまたは、イットリアコート）
重量 728g
使用温度 0℃-40℃