[仕様]
  |  | CMR361 | CMR362 | CMR363 | CMR364 | CMR365 | 
| 接続口 | DN16 ISO-KF, DN16CF-R, AD1/2チューブ, 8VCRの4タイプから選択可能 | 
  | 測定レンジ:上限 | 1x105Pa | 1x104Pa | 1x103Pa | 1x102Pa | 11Pa | 
  | 測定レンジ:下限 | 10Pa | 1.0Pa | 0.1Pa | 1x10-2Pa | 1x10-3Pa | 
  | 分解能 | 0.003%F.S | 0.003%F.S | 0.003%F.S | 0.003%F.S | 0.003%F.S | 
  
    | ベークアウト時温度 | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ | 
  | 許容圧力 | 3x105Pa | 2x105Pa | 2x105Pa | 2x105Pa | 1.3x105Pa | 
  | 精度 | 測定値の0.2% |