[仕様]
| CMR361 |
CMR362 |
CMR363 |
CMR364 |
CMR365 |
接続口 |
DN16 ISO-KF, DN16CF-R, AD1/2チューブ, 8VCRの4タイプから選択可能 |
測定レンジ:上限 |
1x105Pa | 1x104Pa |
1x103Pa |
1x102Pa |
11Pa |
測定レンジ:下限 |
10Pa |
1.0Pa |
0.1Pa |
1x10-2Pa |
1x10-3Pa |
分解能 |
0.003%F.S |
0.003%F.S | 0.003%F.S |
0.003%F.S |
0.003%F.S |
ベークアウト時温度 |
≦110℃ |
≦110℃ |
≦110℃ |
≦110℃ |
≦110℃ |
許容圧力 |
3x105Pa |
2x105Pa |
2x105Pa |
2x105Pa |
1.3x105Pa |
精度 |
測定値の0.2% |