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真空バルブの標準バルブ 低価格でメンテナンスが容易 【メーカー】 VAT株式会社
【仕様】 リーク量 1×10-10Pam3S-1 使用圧力範囲1×10-5Pa〜0.16MPa ゲートにかけ得る許容最大差圧≦0.12MPa バルブを開けるときの許容最大差圧≦30hPa 第一回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 バルブ ≦120℃ アクチュエータ ≦80℃ リミットスイッチ ≦80℃ 電磁弁 ≦50℃ 材質（ボディ） アルミニウム シール材（ゲート、ボンネット） FKM(VITON) 取り付け方向 自由
